微米级干雾抑尘装置是由压缩空气驱动声波震荡器，通过高频声波的音爆，作用在喷头共振室处将水高度雾化，产生10µm以下的微细水雾颗粒（直径10µm以下的雾称干雾）喷向起尘点，使水雾颗粒与粉尘颗粒相互碰撞、粘结、聚结增大，并在自身重力作用下沉降,达到抑尘的作用。
 
粉尘可以通过水粘结而聚结增大，但那些细小的粉尘（如PM10-PM2.5）只有当水滴很小（如干雾）或加入化学剂（如表面活性剂）减小水表面张力时才会聚结成团。
如果水雾颗粒直径大于粉尘颗粒，那么粉尘仅随水雾颗粒周围气流而运动，水雾颗粒和粉尘颗粒接触很少或者根本没有机会接触，则达不到抑尘作用；如果水雾颗粒与粉尘颗粒大小接近，粉尘颗粒随气流运动时就会与水雾颗粒碰撞、接触而粘结一起。水雾颗粒越小，聚结机率则越大，随着聚结的粉尘团变大加重，从而很容易降落。水雾对粉尘的“捕捉”作用就形成了。
 
如图1、图2所示，当粒径较大的雾滴与粉尘颗粒接触时，粉尘由下向上运动，水雾颗粒由上向下运动，在运动过程中大粉尘与大的水雾颗粒，小粉尘与小的水雾颗粒相结合。
 
图3和图4所示过程反映的是，当水雾颗粒的粒径小于10µm，达到干雾级的时候，雾滴的表面张力减小，粒子之间的黏力就会越来越大，所以，以粉尘粒子为核的“微细粉尘颗粒——微细水雾颗粒”二相流中，粒子与粒子之间很容易结合在一起，从而使整个粒子不停的变大，终沉降下来，达到除去粉尘粒子的目的。

综上所述，当水雾颗粒的粒径与粉尘颗粒的粒径大小相近，且雾量较大时，空气中的水蒸汽迅速饱和，饱和的水蒸汽与粉尘碰撞、接触并凝聚在一起，达到一定的重量后沉降下来。这就是微米级干雾抑尘技术的除尘原理。